寶德BURKERT式流量傳感器特性概覽

工作電源
輸出信號(hào) 標(biāo)準(zhǔn)脈沖信號(hào)，晶體管NPN或PNP，集電極開(kāi)路，
zui大100mA
本體材質(zhì) PA（8023的本體）
8030與8021
允許的傳感器 霍爾式 / 霍爾“低功率"式
流量顯示包括2個(gè)累加器
體式、面板式或墻裝式
批量控制器具有3種批量模式（現(xiàn)場(chǎng)按鍵輸入、
二進(jìn)制輸入和時(shí)間比例觸發(fā)批量控制）
zui大誤差以測(cè)量范圍的%表示：
標(biāo)準(zhǔn)K系數(shù)校正：≤±(0.5% o.F.S. +2.5% o.R.)
校正（Teach-in）：≤±0.5% o.F.S.
霍爾式（參見(jiàn)技術(shù)參數(shù)表） 1
2 to 30 V DC DIN 43650 M16×1.5
8021型標(biāo)準(zhǔn)脈沖輸出模塊，接插式 12 to 30 V DC 1 x M16×1.5
測(cè)量范圍 From 1 l/min
流速 0.3 to 10 m/s
測(cè)量誤差[%] ≤ ±(0.5% o.F.S. +2.5% o.R.) 這兩個(gè)電阻都直接位于氣體通道內(nèi)；另外三個(gè)電阻位于氣體通道之外。
這五個(gè)電阻連接成個(gè)測(cè)量電橋。
氣體通道中的個(gè)電阻 (RT) 測(cè)量介質(zhì)溫度，另個(gè)低阻值電阻 (RS) 不斷被加熱，使其與介質(zhì)溫度（由 RT 測(cè)得）之間始終保持個(gè)恒定的溫差。
所需的加熱電流即用于測(cè)量流過(guò)該氣體通道的氣體流量。
MFC 中合適的流量調(diào)節(jié)確保其所測(cè)得的流量非常。
由于加熱電阻和測(cè)量電阻都直接位于氣體通道內(nèi)，所以當(dāng)設(shè)定值或?qū)嶋H值變化時(shí)，該傳感器的響應(yīng)時(shí)間極短，只有幾百毫秒。
此外，該傳感器的結(jié)構(gòu)確保其不易受污染物的影響。
與在主管道中進(jìn)行測(cè)量的式傳感器不同，CMOS 傳感器是在旁路管道中進(jìn)行測(cè)量的。
主管道中的層流元件產(chǎn)生個(gè)必需的壓差，使小部分流量進(jìn)入旁路管道。
旁路管道內(nèi)壁上裝有帶膜的硅芯片，用于測(cè)量流量。
采用 CMOS 傳感器技術(shù)，在這塊膜上有個(gè)加熱電阻和兩個(gè)對(duì)稱(chēng)的溫度傳感器（分別位于上游和下游）。
如使加熱電阻保持在個(gè)恒定溫度，則兩個(gè)溫度傳感器的電壓差即可用于測(cè)量旁路通道內(nèi)流過(guò)芯片的氣體的流量。
該溫度傳感器的熱量低、與介質(zhì)直接接觸，因此具有許多特定的，其中之就是對(duì)于流量變化的響應(yīng)極快。
帶 CMOS 傳感器的 MFC 具有100 ms 的響應(yīng)時(shí)間，且靈敏度高，即使流量很小時(shí)也是如此。
該式傳感器為 CTA（恒溫風(fēng)速計(jì)） 工作原理：控制加熱電阻 (RS) 和測(cè)量電阻 (RT) 之間保持個(gè)恒定的溫差。

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